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全氟醚橡胶在所有橡胶材料中具备优异的综合性能,工作温度范围(可达327℃)、化学兼容性较好(可抵抗1800多种化学物质)、脱气和可萃取水平偏低,这些特性使其成为半导体制造中极端环境下不可或缺的关键部件。
