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简单介绍：
全氟橡胶（又称全氟醚橡胶）是由全氟(甲基乙烯基)醚、四氟乙烯和全氟烯醚组成的三元共聚物，采用乳液聚合法制备，通过二胺或2,2‘-双(4-苯轻基丙烷)硫化，长期工作温度范围为-39~288℃，具有聚四氟乙烯的热稳定性和化学稳定性。
详情介绍：
该材料在半导体领域应用于刻蚀、薄膜沉积等工艺的密封圈制造，依托X表面处理技术可增强抗粘附性能，耐受间歇高温及等离子体环境。国内企业通过环保含氟乳化剂合成技术实现工程化生产，突破物料计量控制瓶颈，形成半导体设备密封用全氟橡胶制备技术。
